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      射頻電源

      直流電源

      匹配器

      遠程等離子

      備品

      RF CABLE

      AE NAVIGATOR 系列
      KYOSAN MBK / BJK / CMK / KMK 系列
      DAIHEN RMN / AMN 系列
      MKS/ENI
      NEW POWER PLASMA NPM 系列
      AKT FIXED / PRESET MATCH
      PLASMART
      AMAT P5000
      LAM OB1 (ONE BOX)
      MATTSON RFS 系列
      ASE 系列
      DAIHEN FRM&HRM 系列
      ULVAC 系列